1 總則
1.0.1 為在電子工業(yè)廢氣處理工程設計中貫徹執行國家的有關(guān)法律、法規和規定，規范工程的設計內容和深度，提高工程的設計水平，達到保護環(huán)境、節約能源與資源、技術(shù)先進(jìn)、經(jīng)濟合理、保證設計質(zhì)量和安全的要求，制定本標準。
1.0.2 本標準適用于新建、改建、擴建的電子工業(yè)廢氣處理工程設計。
1.0.3 電子工業(yè)廢氣處理工程設計除應符合本標準外，尚應符合國家現行有關(guān)標準的規定。
2 術(shù)語(yǔ)
2.0.1 封閉箱體 enclosure
實(shí)體的結構物，用于區隔具有排風(fēng)設施的空問(wèn)與其他有或無(wú)排風(fēng)設施的空間。
2.0.2 設備排風(fēng)靜壓 exhausting static pressure of equipment
需排風(fēng)設備封閉箱體內外兩側的壓差，即設備封閉箱體內壓力與設備所處環(huán)境壓力之差．通常為負值，單位為Pa。
2.0.3 不相容 incompatible
化學(xué)物質(zhì)經(jīng)由非故意的結合，可能產(chǎn)生劇烈的反應或無(wú)法控制的狀況，其釋放的能量可能引起危險。
2.0.4 局部排風(fēng) local exhaust
局部排風(fēng)的工作原理是在污染源或其鄰近處捕集污染物，并將其排至外界環(huán)境，通常會(huì )經(jīng)過(guò)空氣凈化或污染因子破壞的處理裝置。
2.0.5 酸性廢氣 acid contaminated exhaust
企業(yè)廠(chǎng)區內燃料燃燒和生產(chǎn)工藝過(guò)程中產(chǎn)生的酸性污染物氣休的總稱(chēng)，通常溶于水中會(huì )發(fā)生反應，形成弱酸，包括二氧化硫、硫化氫、氟化物、氯、氯化氫、磷酸、硝酸、硫酸等。
2.0.6 堿性廢氣 alkaline contaminated exhaust
生產(chǎn)工藝過(guò)程中產(chǎn)生的堿性污染物氣體的總稱(chēng)，通常能與酸們用生成鹽類(lèi)化合物，包括氨、胺類(lèi)化合物、氫氧化鈉等。
2.0.7 特種廢氣 special contaminated exhaust
電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中化學(xué)氣相淀積、擴散、外延、離子注人、千法刻蝕等工藝設備散發(fā)的含有毒性、腐蝕吐、氧化性、自燃性、可燃性、惰性等物質(zhì)的廢氣。
2.0.8 全氟化合物 perfluorocompounds( PFCs)
電子工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中化學(xué)氣相淀積、干法刻蝕等工序使用的具有高全球變暖潛能（GWP）的氟化合物，包括全氟化合物和氫氟碳化物（FIFCs)．如四氟化碳(CF)、六氟乙烷(C2F6)、八氟丙烷 (C3F8 )、八氟環(huán)丁烷（c-C4F8 )、三氟化氮(NF3）、六氟化硫（SF6)和三氟甲烷(CHF3 )。上述的全氟化合物和氫氟碳化物在工業(yè)界統稱(chēng)為個(gè)氟化合物。
2.0.9 立即危害生命和健康濃度 immediately dangerous to life and health(IDLH)
對生命產(chǎn)生即刻危害，并對健康造成不可逆的不良影響的環(huán)境濃度，或使人降低逃生能力的環(huán)境濃度。
2.0.10 限流閥 restricted-flow orifice
置于氣瓶閥體內．把最大流量限制在一定范圍內的裝置。
2.0.11 揮發(fā)性有機物 volatile organic compounds ( VOCs)
沸點(diǎn)在50℃~250℃間，溫度293. 15K時(shí)蒸汽壓大于或等于 0.01kPa，或者能夠以氣態(tài)分子的形態(tài)排放到空氣中的所有有機化合物，但不包括甲烷。
2.0.12 尾氣處理設備 point-of-use abatement( POU)
安裝在工藝生產(chǎn)設備附近，并對其排出的尾氣進(jìn)行處理的設務(wù)．通常也稱(chēng)排風(fēng)預處理設備或就地尾氣處理設備。
2.0.13 中央廢氣處理系統 centralized abatement system
通常位于廢氣系統的末端，在廢氣排人大氣前對其所含的特定污染因子做最終的消減處理，并達到規定的排放濃度或標準的處理系統。
2.0.14 轉輪濃縮系統 rotor-concentrator system
揮發(fā)性有機物廢氣通過(guò)轉輪的吸附區域后，其污染因子能被有效地吸附于轉輪的吸附材料中，并在轉輪的脫附區域被小流量高溫空氣脫附，使低濃度、大風(fēng)量揮發(fā)性有機物廢氣濃縮為高濃度、小風(fēng)量的揮發(fā)性有機物廢氣的系統。
2.0.15 蓄熱氧化系統 regenerative thermal oxidizing system
通過(guò)蓄熱床吸收高溫煙氣的熱量，并預熱未經(jīng)處理的低溫廢氣，吸熱升溫后的廢氣通過(guò)高溫裂解破壞其污染因子結構的系統。
2.0.16 填料洗滌式廢氣處理設備 packed-bed scrubber
經(jīng)山填料增加氣液廢氣接觸面積的廢氣處理設備，包括本體、填料層、除霧層、循環(huán)噴淋系統、循環(huán)泵、儲液槽及控制系統等的廢氣處理設備，通常分為水平式和垂直式。
2.0.17 壓人式廢氣處理系統 blow-tb rough abatement system
風(fēng)機位于廢氣處理設備氣流上游，廢氣處理設備相對于所處環(huán)境為正壓的處理系統。
2.0.18 吸人式廢氣處理系統drawing out abatement system
風(fēng)機位于廢氣處理設備氣流下游，廢氣處理設備相對于所處環(huán)境為負壓的處理系統
2.0.19 吹吸式廢氣處理系統 blow-draw abatement system
廢氣處理設備的進(jìn)、出口均設置風(fēng)機，廢氣處理設備相對于所處環(huán)境為微負壓或微正壓的處理系統。
2.0.20 時(shí)間加權平均容許濃度 permissible concentration lime weighted average( PC-TWA)
以時(shí)間為權數規定的8 h工作日、40 h工作周的平均容許接觸濃度。
2.0.21 短時(shí)間接觸容許濃度 permissible concentration short term exposure limit(PC-STEL)
在遵守PC-TWA前提下容許短時(shí)間（15 min)接觸的濃度。
2.0.22 最高容許濃度 maximum allowable concentration (MAC)
工作地點(diǎn)空氣中有害物質(zhì)不應超過(guò)的濃度。
3 基本規定
3.0.1 產(chǎn)生有害物質(zhì)的工藝生產(chǎn)設備，宜采用自動(dòng)化，井應采取密閉、隔離和負壓操作措施。對生產(chǎn)過(guò)程中不可避免放散的有害物質(zhì)在排放前，應采取凈化處理措施，并應達到有關(guān)污染物排放標準。
3.0.2 排風(fēng)系統應按廢氣種類(lèi)和不相容原則設置。
3.0.3 下列情況之一時(shí)，應單獨設置排風(fēng)系統：
1 不同排風(fēng)點(diǎn)不同的有害物質(zhì)混合后能引起燃燒或爆炸；
2 混合后能產(chǎn)生或加劇腐蝕性或毒性；
3 混合后易使蒸汽凝結并聚積粉塵；
4 散發(fā)極毒和劇毒物質(zhì)的房間和設備；
5 排風(fēng)中含有燃燒爆炸性氣體。
3.0.4 當排風(fēng)點(diǎn)需求壓力相差250Pa以上，且所需壓力絕對值的較大值出現在系統后三分之一管路時(shí)，宜分別設置排風(fēng)系統。
3.0.5 排氣系統宜按照最大產(chǎn)能時(shí)的各工藝設備排氣量計算，并據此確定廢氣處理系統的風(fēng)量和排風(fēng)管尺寸。
3.0.6 排風(fēng)系統設計應符合下列規定：
1 含有燃燒爆炸性物質(zhì)的局部排風(fēng)系統應按物理化學(xué)性質(zhì)采取相應的防火防爆措施；
2 排風(fēng)中亨，染物濃度或排放速率超過(guò)國家和地區污染物排放標準時(shí)，應進(jìn)行凈化處理。
3.0.7 排除有燃燒爆炸陛危險物質(zhì)的排風(fēng)系統風(fēng)量應經(jīng)計算確定，并應符合下列規定：
1 采用局部排風(fēng)系統時(shí)，其風(fēng)量應按在正常運行和事故情況下風(fēng)管內燃燒爆炸性危險物質(zhì)的濃度不大于爆炸下限的50%計算。
更多標準內容點(diǎn)擊以下鏈接獲取標準全文:
掃一掃手機APP
掃一掃微信小程序