電子器件（半導體芯片）制造業(yè)清潔生產(chǎn)評價(jià)指標體系

1 適用范圍

      本評價(jià)指標體系規定了電子器件制造業(yè)中硅基半導體芯片制造生產(chǎn)企業(yè)（生產(chǎn)線(xiàn)）清潔生產(chǎn)的一般要求。本指標體系將清潔生產(chǎn)指標分為六類(lèi)，即生產(chǎn)工藝裝備及技術(shù)、資源能源消耗指標、資源綜合利用指標、污染物產(chǎn)生指標、產(chǎn)品特征指標、清潔生產(chǎn)管理指標。

      本指標體系適用于電子器件制造業(yè)中硅基半導體芯片制造生產(chǎn)企業(yè)（生產(chǎn)線(xiàn)）的清潔生產(chǎn)審核、清潔生產(chǎn)潛力與機會(huì )的判斷以及清潔生產(chǎn)績(jì)效評定和清潔生產(chǎn)績(jì)效公告制度，也適用于環(huán)境影響評價(jià)、排污許可證、環(huán)保領(lǐng)跑者等環(huán)境管理制度。

2 規范性引用文件

      下列文件對于本文件的應用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。

      GB/T 14204-1993 水質(zhì)烷基汞的測定氣相色譜法

      GB/T 24001 環(huán)境管理體系要求及使用指南

      GB/T 26125 電子電氣產(chǎn)品六種限用物質(zhì)（鉛、汞、鎘、六價(jià)鉻、多溴聯(lián)苯和多溴二苯醚） 的測定

      GB/T 26572 電子電氣產(chǎn)品中限用物質(zhì)的限量要求

      GB 18599 一般工業(yè)固體廢物貯存、處置場(chǎng)污染控制標準

      HJ 540-2009 環(huán)境空氣和廢氣砷的測定二乙基二硫代氨基甲酸銀分光光度法

      HJ 666-2013 水質(zhì)氨氮的測定流動(dòng)注射-水楊酸分光光度法

      HJ 700-2014 水質(zhì)65種元素的測定電感耦合等離子體質(zhì)譜法

      HJ/T 91-2002 地表水和污水監測技術(shù)規范

      HJ/T 194-2005 環(huán)境空氣質(zhì)量手工監測技術(shù)規范。

      HJ/T 399-2007 水質(zhì)化學(xué)需氧量的測定快速消解分光光度法

      《清潔生產(chǎn)評價(jià)指標體系編制通則》（試行稿）（國家發(fā)展改革委、環(huán)境保護部、工業(yè)和信息化部2013年 第33號公告）

      《產(chǎn)業(yè)結構調整指導目錄（2013年修正）》（國家發(fā)展改革委2013年 第21號令）

3 術(shù)語(yǔ)和定義

      《清潔生產(chǎn)評價(jià)指標體系編制通則》（試行稿）所確立的以及下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本指標體系。

3.1 清潔生產(chǎn)

      指不斷采取改進(jìn)設計、使用清潔的能源和原料、采用先進(jìn)的工藝技術(shù)與設備、改善管理、綜合利用等措施，從源頭削減污染，提高資源利用效率，減少或者避免生產(chǎn)、服務(wù)和產(chǎn)品使用過(guò)程中污染物的產(chǎn)生和排放，以減輕或者消除對人類(lèi)健康和環(huán)境的危害。

3.2 管理指標

      指企業(yè)實(shí)施清潔生產(chǎn)應滿(mǎn)足的相關(guān)管理規定要求的指標，包括：建立環(huán)境管理體系、開(kāi)展節能活動(dòng)、開(kāi)展清潔生產(chǎn)審核活動(dòng)、創(chuàng )建清潔生產(chǎn)先進(jìn)企業(yè)活動(dòng)等。

3.3 指標基準值

      為評價(jià)清潔生產(chǎn)水平所確定的指標對照值。

3.4 一級指標權重值

      指衡量各一級評價(jià)指標項在清潔生產(chǎn)評價(jià)指標體系中的重要程度的值。

3.5 二級指標分權重值

      指依據二級指標項在企業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中對清潔生產(chǎn)水平影響大小程度而確定的值。

3.6 二級指標基準值分級

      根據清潔生產(chǎn)需要，為評判電子器件制造企業(yè)清潔生產(chǎn)水平將二級指標基準值劃分為三個(gè)不同的級別，分別代表國內清潔生產(chǎn)領(lǐng)先水平、國內清潔生產(chǎn)先進(jìn)水平和國內清潔生產(chǎn)一般水平。

3.7 限用物質(zhì)

      法律法規或顧客要求在電子電氣產(chǎn)品中限制使用的有毒有害物質(zhì)。

3.8 臭氧層消耗物質(zhì)

      指破壞臭氧層物質(zhì)，主要包括氟氯化碳，三氯乙烷，三氯乙烯、三氯乙炔和四氯化碳等。

3.9 揮發(fā)性有機物

      指溫度為293.15K、蒸汽壓大于或等于0.01KPa時(shí)，可揮發(fā)性有機化合物的總稱(chēng)，但不包括甲烷。

3.10 新鮮水量

      新水量指生產(chǎn)中每產(chǎn)出單位面積成品所耗用的新鮮水量，即取自自來(lái)水、地表水、地下水水源被第一次利用的水量，不包括主體工程重復使用的和循環(huán)利用的水量、余熱發(fā)電及輔助生產(chǎn)設施用水量。

3.11 廢水量

      指生產(chǎn)設施或企業(yè)排放到企業(yè)法定邊界外的廢水量，包括與生產(chǎn)有直接或間接關(guān)系的各種外排廢水（含廠(chǎng)區生活污水、冷卻廢水、廠(chǎng)區鍋爐和電站廢水等）。

3.12 危險廢棄物

      指產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的具有下列情形之一的固體廢物（包括固體容器盛裝的液態(tài)廢物）：

      （一）具有腐蝕性、毒性、易燃性、反應性或者感染性等一種或者幾種危險特性的；

      （二）不排除具有危險特性，可能對環(huán)境或者人體健康造成有害影響，需要按照危險廢物進(jìn)行管理的；

      （三）列入國家危險廢物名錄（2016年版）中的。不在名錄的按照國家危險廢棄物鑒定流程確定。

3.13 單位產(chǎn)品電耗

      指半導體生產(chǎn)芯片企業(yè)生產(chǎn)設備每生產(chǎn)單位面積產(chǎn)品所消耗的電能。

3.14 單位產(chǎn)品污染物產(chǎn)生量

      指半導體芯片制造企業(yè)生產(chǎn)單位面積產(chǎn)品所產(chǎn)生污染物的量，這些污染物是在生產(chǎn)線(xiàn)排放出進(jìn)入末端處理設施之前的廢棄物（廢液、廢氣或固體廢物）中,需監測末端處理前廢棄物中的某種污染物，本指標體系主要包括廢水，總砷，烷基汞，化學(xué)需氧量，氮氨、臭氧層破壞物質(zhì)和危險廢物等。

4 評價(jià)指標體系

      本指標體系在工廠(chǎng)產(chǎn)能達到其設計產(chǎn)能80%（包含）以上時(shí)適用。

4.1 指標選取說(shuō)明

      根據清潔生產(chǎn)的原則要求和指標的可度量性，進(jìn)行本評價(jià)指標體系的指標選取。根據評價(jià)指標的性質(zhì)，分為定量指標和定性指標兩類(lèi)。

      定量指標選取了具有代表性、能反映“節能”、“降耗”、“減污”和“增效”等有關(guān)清潔生產(chǎn)最終目標的指標，綜合考評企業(yè)實(shí)施清潔生產(chǎn)的狀況和企業(yè)清潔生產(chǎn)水平。定性指標根據國家有關(guān)推行清潔生產(chǎn)的產(chǎn)業(yè)發(fā)展和技術(shù)進(jìn)步政策、資源環(huán)境保護政策規定以及行業(yè)發(fā)展規劃等選取，用于考核企業(yè)執行相關(guān)法律法規和標準政策情況。

4.2 指標基準值及其說(shuō)明

      各指標的評價(jià)基準值是衡量該項指標是否符合清潔生產(chǎn)基本要求的評價(jià)基準。

      在定量評價(jià)指標中，各指標的評價(jià)基準值是衡量該項指標是否符合清潔生產(chǎn)基本要求的評價(jià)基準。在行業(yè)清潔生產(chǎn)評價(jià)指標體系中，評價(jià)基準值分為Ⅰ級基準值、Ⅱ級基準值和Ⅲ級基準值三個(gè)等級。其中Ⅰ級基準值代表國際領(lǐng)先水平；Ⅱ級基準值代表國內先進(jìn)水平；Ⅲ級基準值代表國內一般水平。

      在定性評價(jià)指標體系中，衡量該項指標是否貫徹執行國家有關(guān)政策、法規的情況，按“是”或“否” 兩種選擇來(lái)評定。

4.3 指標體系

      集成電路芯片和分立器件芯片制造企業(yè)清潔生產(chǎn)評價(jià)指標體系技術(shù)要求內容見(jiàn)表1。由于不同尺寸集成電路芯片和分立器件芯片加工復雜度還與加工層數相關(guān)，因此本指南表1中各尺寸芯片指標值是在以下加工層數下測算出的，其它加工層數各尺寸集成電路芯片和分立器件芯片清潔生產(chǎn)指標值可參考本指南按加工層數比例合理自行測算。

      ? 12英寸芯片及分立器件芯片：35層；

      ? 8英寸芯片及分立器件芯片：30層；

      ? 5~6英寸芯片及分立器件芯片：20層；

      ? 4英寸及以下分立器件芯片：10層。

      薄膜晶體管液晶顯示器（TFT-LCD）制造企業(yè)清潔生產(chǎn)評價(jià)指標體系技術(shù)要求內容見(jiàn)表2。

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